当前位置:南京覃思科技有限公司>>产品展示>>美国PIE 等离子清洁、刻蚀处理仪
Tergeo系列台式全自动等离子清洁仪具有清洁、灰化、刻蚀等功能,可用来清洁纳米级样品,去除光刻胶,清洁晶圆和集成电路键合焊盘,进行煤和有机物的灰化,激活聚合物...
通过选配外部附件如:EM-KLEEN远程控制等离子源和/或TEM样品杆适配器,多用途腔室可配置成不同的应用。EM-KLEEN远程等离子体源可以采用空气、氧气或氢...
Tergeo系列台式全自动等离子清洁仪具有清洁、灰化、刻蚀等功能,可用来清洁纳米级样品,去除光刻胶,清洁晶圆和集成电路键合焊盘,进行煤和有机物的灰化,激活聚合物...
用于SEM,FIB,TEM,XPS,ALD,CD-SEM,EBR,EBI,EUVL和其它高真空系统的远程等离子清洁仪。远程等离子源需安装在要被清洁的真空腔室上,...
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